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Procédé de cuisson non oxydant à ultra-basse teneur en oxygène de 200 ppm pour l'électronique de précision

Procédé de cuisson non oxydant à ultra-basse teneur en oxygène de 200 ppm pour l'électronique de précision

2026-03-20

Dans l’emballage des semi-conducteurs, l’électronique de précision et la R&D sur les nouveaux matériaux, l’oxydation pendant le traitement thermique est l’une des principales causes de défaillance des produits. Cette étude de cas analyse un four à circulation d'air chaud purgé à l'azote spécialement conçu pour le séchage non oxydant, démontrant la stabilité de son processus et la fiabilité de son équipement grâce à des preuves paramétriques.

1. Environnement anaérobie de précision et contrôle de verrouillage

L’établissement d’un environnement stable à faible teneur en oxygène est une condition préalable à la cohérence des processus.

Indicateur d'oxygène ultra faible : grâce à la purge à l'azote, le four maintient la teneur en oxygène à <200 ppm, avec un temps de désoxygénation de <30 minutes.

 

Configuration pneumatique de précision : équipé de débitmètres de marque SMC et de réducteurs de pression pour garantir une régulation précise du débit d'azote, avec un débit total maximum de 400 L/min par chambre.Mécanisme de verrouillage de sécurité : un électro-aimant est installé sur la porte, verrouillé avec l'analyseur de teneur en oxygène (plage de détection 1PPM-20%). Cela garantit que la porte ne peut pas être ouverte si les niveaux d'oxygène sont hors cible ou pendant le fonctionnement, préservant ainsi l'environnement anaérobie.

2. Performance thermique et uniformité de la température

Pour les composants de précision, l’uniformité du champ thermique affecte directement la cohérence des performances de chaque unité.

 

Taux de chauffage : La température passe de la température ambiante à 200 °C en ≤ 40 minutes dans des conditions sans charge.

Uniformité de haute précision : validée par une mesure de température en 9 points, l'uniformité est ≤ ± 5 °C à des températures ≤ 250 °C, avec une précision de contrôle de ± 1 °C

Système de flux d'air horizontal : utilise un mode de circulation horizontale de gauche à droite alimenté par un moteur centrifuge à arbre long de 370 W/380 V résistant aux hautes températures, garantissant que la chaleur pénètre uniformément dans les produits sur plusieurs couches de plateaux.

 

3. Matériaux structurels et fiabilité de qualité industrielle

La stabilité industrielle à long terme est soutenue par une construction matérielle robuste.

Revêtement interne : construit en acier inoxydable 304 de 1,2 mm d'épaisseur, offrant une excellente résistance à la corrosion et des performances d'étanchéité.

 

Cadre renforcé : le cadre est soudé avec de l'acier profilé n° 6 à n° 8 et la coque extérieure utilise une plaque d'acier Q235 de 1,2 mm, garantissant la stabilité structurelle lors des opérations à haute température.

 

Isolation haute efficacité : rempli de coton en fibre de silicate d'aluminium 1260 de 120 mm d'épaisseur, garantissant que la température de la surface extérieure reste ≤ 50 °C même à une température de fonctionnement de 250 °C.

 

Contrôle intelligent : basé sur Delta PLC et Kunlun Tongtai écran tactile de 7 pouces, doté d'une régulation PID et d'un instrument numérique indépendant de protection contre la surchauffe.

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Procédé de cuisson non oxydant à ultra-basse teneur en oxygène de 200 ppm pour l'électronique de précision

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Dans l’emballage des semi-conducteurs, l’électronique de précision et la R&D sur les nouveaux matériaux, l’oxydation pendant le traitement thermique est l’une des principales causes de défaillance des produits. Cette étude de cas analyse un four à circulation d'air chaud purgé à l'azote spécialement conçu pour le séchage non oxydant, démontrant la stabilité de son processus et la fiabilité de son équipement grâce à des preuves paramétriques.

1. Environnement anaérobie de précision et contrôle de verrouillage

L’établissement d’un environnement stable à faible teneur en oxygène est une condition préalable à la cohérence des processus.

Indicateur d'oxygène ultra faible : grâce à la purge à l'azote, le four maintient la teneur en oxygène à <200 ppm, avec un temps de désoxygénation de <30 minutes.

 

Configuration pneumatique de précision : équipé de débitmètres de marque SMC et de réducteurs de pression pour garantir une régulation précise du débit d'azote, avec un débit total maximum de 400 L/min par chambre.Mécanisme de verrouillage de sécurité : un électro-aimant est installé sur la porte, verrouillé avec l'analyseur de teneur en oxygène (plage de détection 1PPM-20%). Cela garantit que la porte ne peut pas être ouverte si les niveaux d'oxygène sont hors cible ou pendant le fonctionnement, préservant ainsi l'environnement anaérobie.

2. Performance thermique et uniformité de la température

Pour les composants de précision, l’uniformité du champ thermique affecte directement la cohérence des performances de chaque unité.

 

Taux de chauffage : La température passe de la température ambiante à 200 °C en ≤ 40 minutes dans des conditions sans charge.

Uniformité de haute précision : validée par une mesure de température en 9 points, l'uniformité est ≤ ± 5 °C à des températures ≤ 250 °C, avec une précision de contrôle de ± 1 °C

Système de flux d'air horizontal : utilise un mode de circulation horizontale de gauche à droite alimenté par un moteur centrifuge à arbre long de 370 W/380 V résistant aux hautes températures, garantissant que la chaleur pénètre uniformément dans les produits sur plusieurs couches de plateaux.

 

3. Matériaux structurels et fiabilité de qualité industrielle

La stabilité industrielle à long terme est soutenue par une construction matérielle robuste.

Revêtement interne : construit en acier inoxydable 304 de 1,2 mm d'épaisseur, offrant une excellente résistance à la corrosion et des performances d'étanchéité.

 

Cadre renforcé : le cadre est soudé avec de l'acier profilé n° 6 à n° 8 et la coque extérieure utilise une plaque d'acier Q235 de 1,2 mm, garantissant la stabilité structurelle lors des opérations à haute température.

 

Isolation haute efficacité : rempli de coton en fibre de silicate d'aluminium 1260 de 120 mm d'épaisseur, garantissant que la température de la surface extérieure reste ≤ 50 °C même à une température de fonctionnement de 250 °C.

 

Contrôle intelligent : basé sur Delta PLC et Kunlun Tongtai écran tactile de 7 pouces, doté d'une régulation PID et d'un instrument numérique indépendant de protection contre la surchauffe.